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ICP、ICP-MS幾乎可以有效的分析所有元素,因此被廣泛的使用于半導體產業、核工領域,以及環境樣品的元素分析。尤其是ICP-MS,由于可以進行極微量的金屬分析,因此所使用的超純水,其金屬是要去除到極限的。超純水系統的純化方法中,用來去除離子的是離子交換樹脂,因此維持樹脂的交換能力是很重要的。離子交換樹脂除了會因為官能基飽和而降低去除能力外,樹脂表面也會發生有機物質與微生物的附著,所以在離子交換樹脂的前段處理程序中,使用紫外線燈來氧化分解有機物質,以防止樹脂被污染。此外,為了...
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HPLC經常使用于各種有機物質分析,與質譜儀組合為LC/MS,可進行極微量的分析。超純水使用于移動相製備、標準液調配及作為空白實驗。實驗用超純水中的有機物會造成背景值與雜訊的發生,使分析結果受到干擾。以HPLC(以UV檢測)對不同超純水的有機物含量進行檢測時,結果顯示,有機物的含量與吸收背景值具正相關的關係(圖1)。此時,可以使用紫外線燈(波長185nm)照射來降低有機物含量,被氧化分解的有機物則以離子的形態存在于水中,可以在后續的純化程序中使用離子交換樹脂來加以去除(圖2)...
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在現代化電子行業生產中,集成電路zui明顯的特征就是:產品的體積,在不斷的縮小.這一變化使得生產過程中超純水的水質要求也愈來愈高,對純水器等設備的要求也就越來越嚴格。特別是在電子工廠,潔凈廠房設計中純水供應是重要內容之一,各種電子產品生產工藝對純水水質、水量要求均不相同。在電子物品生產中,超純水系統應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求,結合系統規模、材料及設備供應等情況,通過技術經濟比較來選擇。純水系統的原水水質因各地區、城市的水源不同相差很大,有的城市以河水為水源,即使...
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*,超純水中雜質會對器件帶來一系列的不利影響!所以,如何確定超純水系統流程以保證生產設備對超純水水質的要求就成為超純水系統所要解決的首要問題。集成電路工廠的純水制備系統應根據原水水質及工藝生產設備要求的超純水水質來確定,一般由下列4部分組成:預處理系統、一次純水處理系統、超純水制取系統、回收水系統預處理的目的是去除水中所含的懸浮物、膠體、高分子有機物等雜質。需要指出的是,活性炭對去除TOC有非常好的效果,但它也往往成為微生物的滋生地。因此,在預處理系統中采用活性炭處理單元時,...
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現在制備純水和超純水zui穩定zui方便的方法,就是通過純水與超純水系統。打世界上*臺超純水系統問世到現在,超純水系統的設計生產理念就一直圍繞著“*水質,zui穩水質”來不斷完善。一、*水質1.天然水中常見雜質包括可溶性無機物、有機物、顆粒物、微生物、可溶性氣體等。純水/超純水系統就是要盡可能*地去處這些雜質。2.凈化水質的主要工藝目前常用凈化水質的工藝方法有蒸餾法、反滲透法、離子交換法、過濾法、吸附法、紫外氧化法等。同時我們可以將水的純化過程大致分為3大步,前處理(生產出純...
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